Интегральные микросхемы

Производители полупроводников — основные пользователи технологии атомно-слоевого осаждения (atomic layer deposition, ALD), получаемого с помощью атомно-слоевого осаждения, с начала 2000-х годов, а соответствующая отрасль является главным рыночным сегментом компании Picosun. ALD — именно та технология, которая нужна для производства различных интегральных кремниевых микросхем и полупроводников группы III-V. Компания Picosun предлагает самые передовые решения ALD для силовой электроники, смешанной сигнальной электроники, усовершенствованных логических элементов, новых типов запоминающих устройств и жестких дисков. Системы ALD компании Picosun отличаются самыми низкими эксплуатационными затратами в сфере производства с использованием загрузки одиночных пластин и кассет с пластинами при интеграции в полностью автоматизированные кластерные инструментальные платформы. Диапазон осаждаемых материалов простирается от оксидов для материалов с высоким значением k, изоляторов, влагонепроницаемых слоев, а также для формирования рельефа и пассивирования до нитридов, карбидов и чистых металлов для электродов, диффузионных барьеров, переходных и герметизирующих слоев.

Оборудование Picosun для интегральных микросхем

PICOSUN™ P-300F
PICOSUN™ P-300S
Системы PICOSUN™ для НИОКР
Службы PicoSupport™