Микроэлектромеханические системы (MEMS)

В производстве микроэлектромеханических систем используются механические и электрические свойства кремния и других материалов для создания разных типов устройств и выполнения различных прикладных задач. Технология ALD исключительно хорошо подходит для защиты и функционализации слоев трехмерных устройств и объектов с большим аспектным отношением. Компания Picosun — лидер на рынке экономичных систем групповой обработки для решения задач в сфере микроэлектромеханических систем, где требуется высокий уровень конформности и качества пленки. Picosun предлагает производителям микроэлектромеханических систем множество решений от металлических оксидов для изоляторов, пассивирования, создания слоев остановки травления и барьеров до гибридных материалов и наноламинатов для создания гидрофобных и гидрофильных слоев, защиты от влаги и слипания оптических слоев для датчиков, печатающих головок, оптоэлектронных микроэлектромеханических систем, микрофонов и радиочастотных микроэлектромеханических систем.

Оборудование Picosun для микроэлектромеханических систем

PICOSUN™ P-300F
PICOSUN™ P-300S
PICOSUN™ P-300B
PICOSUN™ P-300BV
Системы PICOSUN™ для НИОКР
Службы PicoSupport™