P-300B

P-300B

Система PICOSUN™P-300B разработана специально для производства микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов, и нанесения покрытия на 3D-объекты, такие как объективы, линзы, механические детали, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты.

Технические характеристики

Размер и тип стандартной подложки

  • Пластины 200 мм в кассетах по 25 шт. (стандартный шаг)
  • Пластины 150 мм в кассетах по 50 шт. (стандартный шаг)
  • Пластины 100 мм в кассетах по 75 шт. (стандартный шаг)
  • Подложки, отличные от пластин (специализированные держатели)
  • Образцы с большим аспектным отношением (до 1:2500)

Температура обработки

  • 50 – 500°C

Стандартные технологические процессы

  • Длительность кассетной обработки может составлять менее 10 с
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы
  • Неоднородность покрытия в пределах кассеты < 1 % 1σ (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, EE 5 мм)

Загрузка подложки

  • Ручная загрузка с помощью пневматического подъемника
  • Линейная полуавтоматическая загрузка
  • Загрузка с помощью промышленного робота

Прекурсоры

  • Жидкостные, твердые вещества, газ, озон
  • Датчики уровня, функции очистки и заправки
  • До 8 источников с 4 отдельными вводами

Системы ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом крупномасштабного производства ALD. Благодаря интегрированию нашей запатентованной конструкции с горячими стенками и полностью раздельными вводами мы можем создавать пленки ALD наивысшего качества с высоким выходом готовой продукции, низким уровнем постпроцессных частиц и великолепными электрическими и оптическими характеристиками. Гибкая конструкция, а также простое и быстрое техническое обслуживание обеспечивает минимальный простой производственных линий и самые низкие эксплуатационные затраты на рынке. Наша собственная технология улучшения диффузии Picoflow™ позволяет производить конформные покрытия даже на исключительно непропорциональных подложках с помощью проверенных в производстве технологических процессов.

Система PICOSUN™ P-300B разработана специально для групповой обработки микроэлектромеханических систем и трехмерных компонентов. Система отличается высокой скоростью работы, надежностью и исключительной простотой технического обслуживания.

Отзывы заказчиков

«Our PICOSUN™ ALD system has been providing stable and reliable processing for implant surface coating already for a number of years, creating a competitive advantage for our products in the medical implant market. We do recommend PICOSUN™ ALD technology for all of the industries where surface modification on microscale plays a key role in the product development.»
Mr. Evgeniy Kozlov, Executive Director of CONMET LLC
Read the whole customer interview by CONMET

“We would wholeheartedly recommend PICOSUN to anyone looking for a fully developed and extremely reliable system regarding ALD technology, no matter what the area of application.»
Mr. Alfred Gnadenberger and Dr. Lukas Lauter, Austrian Mint
Read the whole customer interview by the Austrian Mint

СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДОПОЛНИТЕЛЬНЫХ СВЕДЕНИЙ И РАСЦЕНОК