P-300F

P-300F

Система PICOSUN™ P-300F разработана специально для производства компонентов на интегральных микросхемах, таких как микропроцессоры, устройства памяти и жесткие диски, и создания компонентов силовой электроники, приборов смешанного типа и микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.

Технические характеристики

Размер и тип стандартной подложки

  • Пластины 200 мм в кассетах до 50 шт.
  • Пластины 150 мм в кассетах до 50 шт.
  • Пластины 100 мм в кассетах до 50 шт.
  • Образцы с большим аспектным отношением (до 1:2500)
  • Материалы подложки: Si, стекло, кварц, SiC, GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP

Температура и объем технологического процесса обработки

  • 50 – 300°C
  • До 1000 пластин / 24 часа при толщине Al2O3 15 нм

Стандартные технологические процессы

  • Длительность кассетной обработки может составлять менее 10 с
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2 и металлы
  • Неоднородность покрытия в пределах кассеты < 1 % 1σ (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, EE 5 мм)

Загрузка подложки

  • Полностью автоматическая загрузка с помощью вакуумного кластерного инструмента с возможностью вертикального переворота
  • Загрузка партии из кассеты в кассету с помощью вакуумной кластерной системы Picoplatform™ 200
  • Дополнительная станция SMIF

Прекурсоры

  • Жидкостные, твердые вещества, газ, озон
  • Датчики уровня, функции очистки и заправки
  • До 12 источников с 6 отдельными вводами

Системы ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом крупномасштабного производства ALD. Благодаря интегрированию нашей запатентованной конструкции с горячими стенками и полностью раздельными вводами мы можем создавать пленки ALD наивысшего качества с высоким выходом готовой продукции, низким уровнем постпроцессных частиц и великолепными электрическими и оптическими характеристиками. Гибкая конструкция, а также простое и быстрое техническое обслуживание обеспечивает минимальный простой производственных линий и самые низкие эксплуатационные затраты на рынке. Наша собственная технология улучшения диффузии Picoflow™ позволяет производить конформные покрытия даже на исключительно непропорциональных подложках с помощью проверенных в производстве технологических процессов.

Система PICOSUN™ P-300F — новейшее слово в мире промышленного применения ALD. Система предназначена для полностью автоматической обработки кассет пластин в сочетании со стандартными вакуумными кластерными платформами для отдельных пластин. Решения ALD P-300F, сертифицированные в соответствии с требованиями SEMI S2/S8, могут быть интегрированы в систему автоматизации предприятия с помощью протокола SECS/GEM.

Систему ALD PICOSUN™ P-300F выбирают заказчики, стремящиеся к инновациям в производстве интегральных микросхем.

СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДОПОЛНИТЕЛЬНЫХ СВЕДЕНИЙ И РАСЦЕНОК