P-300S

P-300S

Система PICOSUN™ P-300S разработана специально для производства компонентов на интегральных микросхемах, таких как микропроцессоры, устройства памяти и жесткие диски. Она также подходит для производства микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.

Технические характеристики

Размер и тип стандартной подложки

  • Одиночные пластины до 300 мм
  • Образцы с большим аспектным отношением (до 1:2500)

Температура обработки

  • 50 – 500°C

Стандартные технологические процессы

  • Длительность обработки отдельных пластин до 10 с
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы
  • Неоднородность покрытия < 1 % 1σ (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 шт., EE 5 мм)

Загрузка подложки

  • Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором
  • Возможна автоматическая загрузка с помощью вакуумных кластерных систем Picoplatform™ 200 или Picoplatform™ 300
  • Кластерные системы поддерживают загрузку из кассеты в кассету и использование унифицированных боксов для хранения и перевозки полупроводниковых пластин
  • Загрузка в шкаф N2

Прекурсоры

  • Жидкостные, твердые вещества, газ, озон, плазма
  • Датчики уровня, функции очистки и заправки
  • До 12 источников с 6 отдельными вводами

Системы ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом крупномасштабного производства ALD. Благодаря интегрированию нашей запатентованной конструкции с горячими стенками и полностью раздельными вводами мы можем создавать пленки ALD наивысшего качества с высоким выходом готовой продукции, низким уровнем постпроцессных частиц и великолепными электрическими и оптическими характеристиками. Гибкая конструкция, а также простое и быстрое техническое обслуживание обеспечивает минимальный простой производственных линий и самые низкие эксплуатационные затраты на рынке. Наша собственная технология улучшения диффузии Picoflow™ позволяет производить конформные покрытия даже на исключительно непропорциональных подложках с помощью проверенных в производстве технологических процессов.

Система PICOSUN™ P-300S — новейшее слово в мире промышленного применения ALD. Система предназначена для полностью автоматической обработки одиночных пластин в сочетании со стандартными вакуумными кластерными платформами. Системы ALD P-300S, сертифицированные в соответствии с требованиями SEMI S2/S8, могут быть интегрированы в систему автоматизации предприятия с помощью протокола SECS/GEM. Они удовлетворяют самым строгим требованиям к чистоте в полупроводниковой промышленности.

Систему ALD PICOSUN™ P-300S выбирают заказчики, стремящиеся к инновациям в производстве интегральных микросхем.

СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДОПОЛНИТЕЛЬНЫХ СВЕДЕНИЙ И РАСЦЕНОК