Системы ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом в сфере крупномасштабного нанесения пленок ALD.

Оборудование

Запатентованная конструкция реактора ALD с двойной камерой и горячими стенками компании Picosun с полностью раздельными вводами для подачи прекурсоров позволяет осаждать пленки ALD наивысшего качества с высоким выходом готовой продукции, небольшим количеством постпроцессных частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками.

Гибкая конструкция, а также быстрое и простое техническое обслуживание всего ассортимента оборудования PICOSUN™ ALD обеспечивает минимальный простой производственных линий и низкую стоимость владения. Собственная технология улучшения диффузии Picoflow™ компании Picosun обеспечивает однородность и конформность покрытий даже на подложках с исключительно большим аспектным отношением (> 2500:1) благодаря проверенным в промышленности технологическим процессам.

Производство

Полупроводниковая промышленность и другие отрасли

P-300S
Система PICOSUN™ P-300S разработана специально для производства компонентов на интегральных микросхемах, таких как микропроцессоры, устройства памяти и жесткие диски. Она также подходит для производства микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Подробнее
P-300B
Система PICOSUN™P-300B разработана специально для производства микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов, и нанесения покрытия на 3D-объекты, такие как объективы, линзы, механические детали, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты.
Подробнее
P-300BV
Система PICOSUN™ P-300BV разработана специально для производства светодиодов, цифровых устройств и микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Подробнее
P-1000
Система PICOSUN™ P-1000 разработана для покрытия партий различных 3D-объектов, таких как механические детали, стеклянные или металлические листы, монеты, ювелирные украшения или медицинские импланты.
Подробнее
PICOSUN™ Morpher
The PICOSUN™ Morpher ALD product platform is designed to disrupt the up to 200 mm wafer industries in Beyond and More than Moore technologies. It enables fast, fully automatic, high throughput production of MEMS, sensors, LEDs, lasers, power electronics, optics, and 5G components with the leading process quality, reliability, and operational agility.
Подробнее


НИОКР

Полупроводниковая промышленность и другие отрасли

R-200 Standard
Системы ALD PICOSUN™ R-200 Standard предназначены для проведения научно-исследовательских работ в различных сферах (компоненты на интегральных микросхемах, микроэлектромеханические устройства, дисплеи, светодиоды, лазеры и 3D-объекты, такие как объективы, линзы, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты).
Подробнее
R-200 Advanced
R-200 Advanced Системы ALD PICOSUN™ R-200 Advanced предназначены для проведения научно-исследовательских работ в различных сферах (компоненты на интегральных микросхемах, микроэлектромеханические устройства, дисплеи, светодиоды, лазеры и 3D-объекты, такие как объективы, линзы, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты).
Подробнее


Индивидуальные решения ALD

Подробнее