Системы ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом в сфере крупномасштабного нанесения пленок ALD.

Оборудование

Запатентованная конструкция реактора ALD с двойной камерой и горячими стенками компании Picosun с полностью раздельными вводами для подачи прекурсоров позволяет осаждать пленки ALD наивысшего качества с высоким выходом готовой продукции, небольшим количеством постпроцессных частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками.

Гибкая конструкция, а также быстрое и простое техническое обслуживание всего ассортимента оборудования PICOSUN™ ALD обеспечивает минимальный простой производственных линий и низкую стоимость владения. Собственная технология улучшения диффузии Picoflow™ компании Picosun обеспечивает однородность и конформность покрытий даже на подложках с исключительно большим аспектным отношением (> 2500:1) благодаря проверенным в промышленности технологическим процессам.

Производство

Полупроводниковая промышленность и другие отрасли

P-300F
Система PICOSUN™ P-300F разработана специально для производства компонентов на интегральных микросхемах, таких как микропроцессоры, устройства памяти и жесткие диски, и создания компонентов силовой электроники, приборов смешанного типа и микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Подробнее
P-300S
Система PICOSUN™ P-300S разработана специально для производства компонентов на интегральных микросхемах, таких как микропроцессоры, устройства памяти и жесткие диски. Она также подходит для производства микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Подробнее
P-300B
Система PICOSUN™P-300B разработана специально для производства микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов, и нанесения покрытия на 3D-объекты, такие как объективы, линзы, механические детали, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты.
Подробнее
P-300BV
Система PICOSUN™ P-300BV разработана специально для производства светодиодов, цифровых устройств и микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Подробнее
P-1000
Система PICOSUN™ P-1000 разработана для покрытия партий различных 3D-объектов, таких как механические детали, стеклянные или металлические листы, монеты, ювелирные украшения или медицинские импланты.
Подробнее


НИОКР

Полупроводниковая промышленность и другие отрасли

R-200 Standard
Системы ALD PICOSUN™ R-200 Standard предназначены для проведения научно-исследовательских работ в различных сферах (компоненты на интегральных микросхемах, микроэлектромеханические устройства, дисплеи, светодиоды, лазеры и 3D-объекты, такие как объективы, линзы, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты).
Подробнее
R-200 Advanced
R-200 Advanced Системы ALD PICOSUN™ R-200 Advanced предназначены для проведения научно-исследовательских работ в различных сферах (компоненты на интегральных микросхемах, микроэлектромеханические устройства, дисплеи, светодиоды, лазеры и 3D-объекты, такие как объективы, линзы, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты).
Подробнее


Индивидуальные решения ALD

Подробнее